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실리콘 카바이드 세라믹 EBSD 샘플 준비

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실리콘 카바이드 (SiC) 세라믹은 뛰어난 열 전도성, 고온 저항, 내마모성 및 내식성을 특징으로 하며 반도체 제조, 신에너지 PV, 항공우주 열 보호 및 고온 야금 분야에 널리 채택됩니다. 서비스 성능은 결정립 형태, 결정립 경계 조건 및 잔류 응력에 의해 좌우됩니다.

EBSD는 SiC의 결정립 방향, 질감 및 미세 결함을 분석하는 데 필수적인 특성화 방법으로 사용됩니다. 신뢰할 수 있는 EBSD 데이터는 소결 최적화를 안내하고 구성 요소 오류를 방지합니다. 정밀한 시편 준비는 단단하고 부서지기 쉬운 SiC 세라믹에 대한 EBSD 인덱싱 성공 여부를 결정합니다. 표준 사포는 연삭에 실패합니다. 다이아몬드 디스크와 진동 연마가 필요합니다.

Silicon carbide ceramic EBSD sample preparation micrograph 1

그림 1: 실리콘 카바이드(SiC) 세라믹 샘플 현미경 사진(눈금: 300μm)

Silicon carbide ceramic EBSD sample preparation micrograph 2

그림 2: 실리콘 카바이드(SiC) 세라믹 샘플 현미경 사진(스케일: 300μm)

SiC EBSD 준비 절차:

1️⃣ 평탄화를 위해 P400 다이아몬드 디스크를 사용한 황삭 연삭
2️⃣ 미세 연삭: POS 패드 9μm PD-WT 다이아몬드 서스펜션
3️⃣ 거친 연마: SC-JP 천 3μm PD-WT 서스펜션
4️⃣ 중간 연마: ZN-ZP 천 AO-A439 서스펜션
5️⃣ 최종 진동 연마: ZN-ZP 천 AO-A439 서스펜션
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